*分辨率从1μm～20nm
*极低的电子细分误差（小于20nmRMS）
*读数头规格：10.2mm(高)x13.5mm(宽)x35mm(长)；重量：15g
*模拟量输出；A-quad-B数字信号输出；报警信号
*速度可达5m/s
*栅距20μm
*线性精度：标准±3～±5μm；高精度±1μm
*重复性≦1LSB
*光刻零位信号
*LED状态指示灯用于传感器对准和零位定位
