M1500V～M3500V、MII6000V真空读数头，真空光栅尺
*微型传感器
*革命性的对准方式可用于多种应用
*先进的SmartPrecision电子器件内置于屏蔽D-SUB连接器
*栅距20μm
*分辨率高达1.22nm；旋转分辨率可达268MCPR
*分辨率可编程设置
*线性精度：标准±3～±5μm；高精度±1μm；旋转精度可达±2.1角秒
*真空度高达10负8托
*双向零位信号
*LED设置指示灯用于传感器对准和零位定位
*可选配直线光栅、圆光栅、扇形光栅
